เครื่องเคลือบผิวตัวอย่าง โดยวิธีสปัตเตอริ่ง Ion Sputter Coater (SPT-20) หรือเครื่องเคลือบไอออน เป็นอุปกรณ์สำหรับใช้ในการเคลือบผิวของตัวอย่าง โดยใช้เทคนิคการพ่น (sputter deposition) โลหะลงไปบนผิว เช่น ทองคำ (Au), แพลทินัม (Pt) เป็นต้น ทำให้วัสดุมีสมบัติการนําไฟฟ้าที่ดี เพื่อนําไปวิเคราะห์ต่อในเครื่องจุลทรรศน์วิเคราะห์อิเล็กตรอนส่องกราดแบบตั้งโต๊ะ Table-top Scanning Electron Microscope (SEM / Tabletop SEM)